لایه برداری نانو متری اثر شیمیای با طراحی پلاسمای پالسی
Publish Year: 1398
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 767
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
FMCBC01_002
تاریخ نمایه سازی: 19 اسفند 1398
Abstract:
اثر پلاسما بر سطح یکی از مهمترین اثرھای ی مورد توجه در علوم و تکنولوژی میباشد بدلیل سرعت بالا و اثر بسیار موثر پلاسما بر سطوح امروزه توجه به این پدیده افزایش یافته است در این تحقیق لایه برداری نانومتری از سطح اکسید سلیکون که کاربردھای زیادی در صنعت دارد مورد توجه قرار گرفته است و با طراحی یک سیستم پلاسمایی فعال با ھوا لایه ھای دائمی رنگها و مواد شیمیایی از سطوح سلیکونی برداشته شده است نتایج این تحقیق نشان می دھد فاصله پلاسما تا سطح و زمان اعمال تاثیر بسیار شدیدی در لایه برداری از خود نشان می دھند.
Authors
پرستو آهنی
دانشگاه ارومیه دانشکده علوم گروه نانو فیزیک
محمدتقی احمدی
دانشگاه ارومیه دانشکده علوم گروه نانو فیزیک