بررسی خواصساختاری و نوری لایه نازک آلومینا تهیه شده بروشکندوپاش مغناطیسی جریان متناوب
Publish place: 2nd National Conference on Optic and Laser Engineering
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,032
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCOLE02_064
تاریخ نمایه سازی: 24 اسفند 1389
Abstract:
در این تحقیق، لایه نازک آلومینا به روش کندوپاش مغناطیسی جریان متناوب روی زیرلایههای شیشه ای انباشت شده و اثرتغییر نسبت گاز واکنشی اکسیژن به گاز آرگون روی خواص اپتیکی و ساختاری نمونههای مختلف مورد مطالعه قرار گرفته است. برای انجام آن، نمونه ها با دستگاههای Ellipsometer و Spectrophotometer ،RBS آنالیز شده اند. نتایج نشان میدهد که با تغییر نسبت اکسیژن، ضخامت لایه ، خواصساختاری و نوری لایهها تغییر می یابند.
Keywords:
Authors
شهاب نوروزیان
مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران
جهانبخش مشایخی
مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :