سرعت خوردگی میکروسکوپیک اتم ها در فرآیند ساخت میکرو حسگر ها
Publish place: 19th Annual Conference on Mechanical Engineering (ISME2011)
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 957
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISME19_578
تاریخ نمایه سازی: 2 اردیبهشت 1390
Abstract:
امروزه از سرعت های خوردگی میکروسکوپیک اتم ها برای شبیه سازی نرم افزاری فرآیند خوردگی استفاده میگردد که این نرم افزار ها در ساخت سامانه های میکرو الکترو مکانیکی مورد استفاده قرار میگیرند. این مقاله نتایج جدیدی را برای سرعت های خوردگی میکروسکوپیک اتم های اصلی در کریستال سیلیکون، جهت شبیه سازی نرم افزاری فرآیند خوردگی ارایه داده است. با استفاده از ایننتایج یک نمونه تجربی از یک حسگر نیرو مورد مطالعه قرار گرفته است. با مقایسه نتایج مشخص میگردد که نتایج ارایه شده در این مقاله با نتایج تجربی تطابق قابل قبولی دارند.
Authors
امیررضا مراتی
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
محمدامین رضوان خواه
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
محسن شایان
دانشگاه صنعتی امیرکبیر
بهروز ارزو
دانشگاه صنعتی امیرکبیر
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :