فناوری SOI مزایا ، مشکلات و کاربردهای آن
Publish place: 10th Iranian Student Conference on Electrical Engineering
Publish Year: 1386
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 2,382
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ISCEE10_035
Index date: 28 November 2011
فناوری SOI مزایا ، مشکلات و کاربردهای آن abstract
در دهه های اخیر فناوری الکترونیک حالت جامد توسعه چشمگیری داشته است سیلیسیم همواره بخشعمده صنایع نیمههادی را به خود اختصاص داده است در میان فناوریهای مختلف مبتنی بر سیلیسیم فناوری SOI از جایگاه ویژه ای برخوردار بوده است دراین فناوری یک لایه نازک اکسید مدفون بر روی ویفر سیلیسیمی نشانده می شود و سپس یک لایه سیلیسیمی نازک و یا ضخیم برروی آن قرار میگیرد دو روشاساسی پیوند ویفر و SIMOX برای ساخت SOI وجو د دارد البته ویفرهای ساخته شده به روش پیوند ویفرکیفیت بالاتری نسبت به SIMOX دارند به خاطر وجود مزایایی که ساختار SOI نسبت به SI دارد این ساختار برای ساخت مدارات مجتمع استفاده می شود.
فناوری SOI مزایا ، مشکلات و کاربردهای آن Keywords:
فناوری SOI مزایا ، مشکلات و کاربردهای آن authors
مریم نیری
عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد اسلامی یزد
مهدیه نیری
عضو باشگاه پژوهشگران جوان دانشگاه آزاد اسلامی واحدی زد
زینب السادات مظفری
عضو باشگاه پژوهشگران جوان دانشگاه آزاد اسلامی واحدی زد
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :