بررسی انواع شتاب سنجهای نیمه هادی ساخته شده با تکنولوژی میکروماشینینگ

Publish Year: 1380
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,105

This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ISCEE04_058

تاریخ نمایه سازی: 14 آذر 1390

Abstract:

شتاب سنجهای نیمه هادی اکنون در دنیای الکترونیک و صنعت مدار مجتمع و میکروماشینینگ از اهمیت خاصی برخوردار شده اند همانگونه که از نام آنها مشخص است وسایلی برای تعیین شتاب اجسام متحرک می باشند شتاب سنج ها عمدتا به سه دسته شتاب سنجهای پیزورزیستیو و خازنی و جریان تونلی تقسیم میشوند دراین مقاله به بررسی این سه نوع شتاب سنج خواهیم پرداخت

Authors

امیدرضا قاسمی

دانشگاه علم وصنعت ایران

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • B.E.Boser, R.T.Howe "Surface micromachined _ Vol31, No.3, 1996 ...
  • C.Yeh, K. Najafi "A 1ow - voltage tunneling based silicon ...
  • P.W.Satch "9 Thermaly excite silicon accelerometer Sensors and Actuators, Vol ...
  • S.M. Sze "VLSI rechnology" ...
  • S.M. Sze "Semiconductor sensors" John wiley & sons, 1994 ...
  • نمایش کامل مراجع