Boron d opeddiam ond like carbon na nocrystalby HFCVD
Publish place: 15th Iranian Physical Chemistry Conference
Publish Year: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: English
View: 107
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISPTC15_1318
تاریخ نمایه سازی: 11 دی 1400
Abstract:
Diamond -like carbo n (DLC) is an amorphous carbon m aterial made of random networks of sp۳ and sp۲ hybrid b onds. DLC material wit h high sp۳ c ontent has similar properties as single crystal or polycrystalline diamond in that they are har d, electrically insulating , chemica-lly inert, ve ry good heat conductors, that they show high electron an d hole mobi lity, negati ve electron affinity, high breakdown field, lig ht weight, large band ga ps (>> ۲ eV ), and a hig h index of refraction ( n >> ۲).The aim of this research is to present e xperimental results on t he synthesis of DLC and B۴C, nan ostructure, chemical composition , deposition rate using hot filament chemical vapour deposition (HFCVD) and to discuss the in fluence of boron content on the surface morph ology,crystallo- graphic structure of the deposited films[۱- ۲].
Keywords:
Authors
M Dadashbab
Plasma Physics R esearch Center, Science and Research Branch, Islamic Azad University , Tehran,Iran
M Ghor anneiss
Plasma Physics R esearch Center, Science and Research Branch, Islamic Azad University , Tehran,Iran
M.R HANTEHZADEH
Plasma Physics R esearch Center, Science and Research Branch, Islamic Azad University , Tehran,Iran