تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دی الکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر
Publish place: New Processes in Material Engineering، Vol: 9، Issue: 3
Publish Year: 1394
Type: Journal paper
Language: Persian
View: 238
This Paper With 14 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
JR_MAIA-9-3_008
Index date: 22 February 2022
تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دی الکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر abstract
با توسعه ریزفناوری میکروماشینکاری و میکروالکترونیک، میکروهیترها کاربردهای زیادی در میکروحسگرها پیدا کردهاند. یکنواختی توزیع دما یکی از عوامل تاثیرگذار در افزایش حساسیت و دقت یک حسگر گازی است که در آن هیتر استفاده شده است. در این مقاله روش قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک به منظور بهبود یکنواختی گرما در میکروهیتر، مورد بررسی قرار گرفته است. دو میکروهیتر پلاتینی با ساختار غشای معلق بر روی بستر سیلیکون و بر پایه فناوری میکروماشینکاری حجمی طراحی، ساخته و مشخصهیابی شدهاند. در میکروهیتر اول از لایه نازک سیلیکون به ضخامت µm۱۰ در زیر غشای دیالکتریک استفاده شده است در حالیکه میکروهیتر دوم بدون این لایه ساخته شده است. نتایج شبیهسازی نشان میدهد که با قرار دادن لایه نازک سیلیکون، یکنواختی توزیع دما و استحکام مکانیکی بهبود مییابد درحالیکه توان مصرفی و پاسخ زمانی افزایش مییابد. همچنین نتایج تجربی به نتایج حاصل از شبیهسازی بسیار نزدیک است و نشان میدهد که میکروهیتر با لایه نازک سیلیکون به ضخامت µm۱۰ برای رسیدن به دمای oC۵۰۰ دارای توان مصرفی و پاسخ زمانی mW۵۰ و ms۲۳/۴ بهترتیب میباشد ولی میکروهیتر ساخته شده بدون این لایه، برای رسیدن به این دما دارای توان مصرفی و پاسخ زمانی mW۱۳ و ms۴/۲ است.
تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دی الکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر Keywords:
تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دی الکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر authors
فاطمه سمایی فر
محقق/دانشگاه صنعتی مالک اشتر
احمد عفیفی
دانشیار/دانشگاه صنعتی مالک اشتر
حسن عبداللهی
استادیار/دانشگاه هوایی شهید ستاری
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :