عملیات بازپخت روی ویژگی فیلم لایه نشانی شده اکسیدتیتانیوم به روشکندوپاش مگنترونی
Publish place: The 7th International Conference on Applied Research in Basic Sciences, Engineering and Technology
Publish Year: 1401
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 292
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
CONFITC07_049
Index date: 24 May 2023
عملیات بازپخت روی ویژگی فیلم لایه نشانی شده اکسیدتیتانیوم به روشکندوپاش مگنترونی abstract
در این مطالعه، از دستگاه کندوپاش مگنترونی با فرکانس ۱۵ کیلوهرتز در دو مد جریان مستقیم و جریان پالسی برای لایهنشانی اکسید تیتانیوم TiO₂ با فشار بهینه ودر بازه ی زمانی ۹۰ دقیقه در دمای اتاق بر روی زیرلایه استیل ضدزنگ ۳۰۴ استفاده شده است. آند دستگاه کندوپاش مگنترونی از جنس تیتانیوم می باشد، مخلوط گازهای اکسیژن و آرگون O₂+Arبه عنوان گاز کاری برای لایه نشانی اکسید تیتانیوم مورد استفاده قرار گرفت. فیلمهای نازک لایه نشانی شده اکسید تیتانیومدارای ساختار بلوری می باشند به منظور انتقال فاز و بهبود ساختار کریستالی عملیات بازپخت، در کوره انجام گردید.نمونه های لایه نشانی شده به منظور بررسی ساختار توسط طیف پراش اشعه ایکس XRD، مورفولوژی سطح بامیکروسکوپ الکترونی روبشی SEM ، توپوگرافی سطح با میکروسکوپ نیروی اتمی AFM مورد بررسی قرار گرفتند.نتایج پراش اشعه ایکس رشد لایه های نازک اکسید تیتانیوم روی استیل ضد زنگ را نشان داد. نتایج میکروسکوپ الکترونینشان میدهد که افزایش زمان باعث نهشت مواد بیشتری در روی زیرلایه شده و بعد از عملیات بازپخت اندازه نانو ذراتافزایش یافته است. با توجه به تصاویر میکروسکوپ نیروی اتمی بعد از عملیات بازپخت با افزایش حرارت، اندازه دانه هاو زبری سطح افزایش می یابد
عملیات بازپخت روی ویژگی فیلم لایه نشانی شده اکسیدتیتانیوم به روشکندوپاش مگنترونی Keywords:
عملیات بازپخت روی ویژگی فیلم لایه نشانی شده اکسیدتیتانیوم به روشکندوپاش مگنترونی authors
نسترن رستم جدیدالاسلام
فیزیک پلاسما، دانشکده علوم پایه گروه فیزیک، دانشگاه صنعتی سهند
اسلام قره شعبانی
فیزیک پلاسما، دانشکده علوم پایه گروه فیزیک، دانشگاه صنعتی سهند