بر نشانی لایه فشار و زمان تاثیر :تیتانیوم اکسید مگنترونی کندوپاش نشانی لایه شده نشانی فیلم لایه ویژگی روی
Publish Year: 1401
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 196
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
TAAPY02_056
Index date: 29 May 2023
بر نشانی لایه فشار و زمان تاثیر :تیتانیوم اکسید مگنترونی کندوپاش نشانی لایه شده نشانی فیلم لایه ویژگی روی abstract
در این مطالعه، از دستگاه کندوپاش مگنترونی با فرکانس های ۱۰ و ۱۵ کیلوهرتز در دو مد جریان مستقیم و جریان پالسی برای لایه نشانی اکسید تیتانیوم (TiO₂) با فشار بهینه ودر بازه های زمانی متغییر در دمای اتاق بر روی زیرلایه استیل ضدزنگ (۳۰۴) استفاده شده است. آند دستگاه کندوپاش مگنترونی از جنس تیتانیوم میباشد، مخلوط گازهای اکسیژن و آرگون (O₂+Ar) به عنوان گاز کاری برای لایه نشانی اکسید تیتانیوم مورد استفاده قرار گرفت. نمونه های لایه نشانی شده به منظور بررسی ساختار توسط طیف پراش اشعه ایکس (XRD)، مورفولوژی سطح با میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، برای شناسایی عناصر موجود در نمونه از آنالیز طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس (EDX) و توزیع پراکندگی ذرات به وسیله آنالیز تجزیه تصویری Mapping مورد بررسی قرار گرفتند. نتایج پراش اشعه ایکس رشد لایه های نازک اکسید تیتانیوم روی استیل ضد زنگ را نشان داد. نتایج میکروسکوپ الکترونی نشان میدهد که افزایش زمان باعث نهشت مواد بیشتری در روی زیرلایه شده و اندازه نانو ذرات افزایش یافته است.
بر نشانی لایه فشار و زمان تاثیر :تیتانیوم اکسید مگنترونی کندوپاش نشانی لایه شده نشانی فیلم لایه ویژگی روی Keywords:
بر نشانی لایه فشار و زمان تاثیر :تیتانیوم اکسید مگنترونی کندوپاش نشانی لایه شده نشانی فیلم لایه ویژگی روی authors
نسترن رستم جدید الاسلام
فیزیک پلاسما، دانشکده علوم پایه گروه فیزیک، دانشگاه صنعتی سهند
اسلام قره شعبانی
فیزیک پلاسما، دانشکده علوم پایه گروه فیزیک، دانشگاه صنعتی سهند