بر نشانی لایه فشار و زمان تاثیر :تیتانیوم اکسید مگنترونی کندوپاش نشانی لایه شده نشانی فیلم لایه ویژگی روی

در این مطالعه، از دستگاه کندوپاش مگنترونی با فرکانس های ۱۰ و ۱۵ کیلوهرتز در دو مد جریان مستقیم و جریان پالسی برای لایه نشانی اکسید تیتانیوم (TiO₂) با فشار بهینه ودر بازه های زمانی متغییر در دمای اتاق بر روی زیرلایه استیل ضدزنگ (۳۰۴) استفاده شده است. آند دستگاه کندوپاش مگنترونی از جنس تیتانیوم میباشد، مخلوط گازهای اکسیژن و آرگون (O₂+Ar) به عنوان گاز کاری برای لایه نشانی اکسید تیتانیوم مورد استفاده قرار گرفت. نمونه های لایه نشانی شده به منظور بررسی ساختار توسط طیف پراش اشعه ایکس (XRD)، مورفولوژی سطح با میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، برای شناسایی عناصر موجود در نمونه از آنالیز طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس (EDX) و توزیع پراکندگی ذرات به وسیله آنالیز تجزیه تصویری Mapping مورد بررسی قرار گرفتند. نتایج پراش اشعه ایکس رشد لایه های نازک اکسید تیتانیوم روی استیل ضد زنگ را نشان داد. نتایج میکروسکوپ الکترونی نشان میدهد که افزایش زمان باعث نهشت مواد بیشتری در روی زیرلایه شده و اندازه نانو ذرات افزایش یافته است.

Keywords:

اسپاترینگ , لایه نازک , FESEM