اندازه گیری ضخامت و زبری لایه های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی

بر اساس روش متعارف تداخل نوری، با اندازه گیری میزان جابه جایی فریزهای تداخلی، ضخامت لایه نازک به دست می آید. جهت افزایش دقت در سنجش ضخامت های کم و کاهش خطاهای اندازه گیری، نمودار شدت فریزها قبل و بعد از فرآیند ایجاد پله، رسم می شود. با اندازه گیری میزان جابه جایی فریزهای تداخلی، امکان اندازه گیری ضخامت لایه های نازک از مرتبه چند نانومتر فراهم می شود. همچنین با بهره گیری از جابه جایی نمودار شدت و استفاده از اعوجاج های موجود در نمودار شدت فریزهای تداخلی، زبری سطح نمونه با دقت ۲ نانومتر اندازه گیری می شود. نتایج مقایسه هر دو اندازه گیری با روش های سنجش مستقیم، حاکی از صحت روش پیشنهاد شده است.

Keywords:

لایه های نانومتری , ضخامت لایه های نازک , زبری سطوح شفاف