طراحی، ساخت و مطالعه حسگر اتانول بر پایه لایه های نازک (TiO(۲
Publish Year: 1402
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 154
This Paper With 12 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NCIIE01_084
Index date: 16 March 2024
طراحی، ساخت و مطالعه حسگر اتانول بر پایه لایه های نازک (TiO(۲ abstract
حسگرهای اتانول مبتنی بر لابه های نازک (TiO(۲ با استفاده از کندوپاش مغناطیسی RF ساخته شدند. ساختار بلوریدستگاه، ریخت شناسی سطح و عملکرد سنجش گاز با تغییر توان کندوپاش مورد بررسی قرار گرفت، ویژگی های حسگر بااستفاده از پراش پرتو ایکس، میکروسکوپ نیروی اتمی و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی مورد مطالعه قرارگرفت. نمونه های ساخته شده در توان های پایین (۱۰۰ و ۲۰۰w) ساختاری چهارضلعی با فاز مخلوط آناتاز و روتایلداشتند در حالی که نمونه ی انباشت شده در توان ۳۰۰w، یک فاز آناتاز را نشان می دادند. نتایج نشان داد که تغییر توانکندوپاش به دلیل تغییر در ساختار بلوری، فاز و ریخت شناسی سطح. تاثیر قابل توجهی بر عملکرد سنجش گاز اتانولدستگاه ها دارد. نمونه ی تولید شده با توان کندوپاش ۲۰۰w حساسیت بیشتری نسبت به نمونه های دیگر و گزارش هاییکه تاکنون ارائه شده است؛ نشان داد.
طراحی، ساخت و مطالعه حسگر اتانول بر پایه لایه های نازک (TiO(۲ Keywords:
طراحی، ساخت و مطالعه حسگر اتانول بر پایه لایه های نازک (TiO(۲ authors
سعیده گودرزی
استادیار گروه فیزیک، واحد چالوس، دانشگاه آزاد اسلامی، چالوس
کیخسرو خجیر
دانشیار گروه فیزیک، واحد چالوس، دانشگاه آزاد اسلامی، چالوس
معصومه فیروزی
استادیار گروه فیزیک، واحد کاشان، دانشگاه آزاد اسلامی، کاشان