سیویلیکا را در شبکه های اجتماعی دنبال نمایید.

Login
PapersConferencesJournals

بررسی تاثیر تنش های موضعی بر روی دیافراگم سیلیکانی طرح دار روی حسگرهای پیزوالکتریک نانو سیم های اکسید روی

Publish place: Modares Mechanical Engineering، Vol: 23، Issue: 1
Publish Year: 1401
Type: Journal paper
Language: Persian
View: 26

This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download

DOWNLOAD Paper

Export:

Link to this Paper:
https://civilica.com/doc/2183481

Document National Code:

JR_MME-23-1_003

Index date: 26 February 2025

بررسی تاثیر تنش های موضعی بر روی دیافراگم سیلیکانی طرح دار روی حسگرهای پیزوالکتریک نانو سیم های اکسید روی abstract

خواص الکتریکی مواد پیزوالکتریک نانوساختاری توجه بسیاری از محققین را در دهه گذشته به خود جلب کرده است. این ویژگی­ها در میکرو حسگرهای پیزو الکتریک استفاده می­شود. نیروی محرکه مکانیکی معمولا نتیجه تماس بین سطح پیزوالکتریک و یک جسم خارجی است. در این مقاله، تاثیر نیروی محرکه مکانیکی با استفاده از یک موج هوایی (آکوستیک) و یا خلاء بر روی دیافراگم سیلیکانی، مورد بررسی قرار گرفته شده است. تنش های موضعی ایجاد شده روی دیافراگم در اثر برخورد یک موج هوایی، تاثیر قابل توجهی روی ولتاژ پیک تا پیک حسگر پیزوالکتریک دارد که با اندازه گیری تغییرات این پارامتر می توان شدت موج هوایی را بدست آورد. برای بررسی این موضوع، دیافراگم بدون طرح و طرحدار که شامل میکروساختارهای سیلیکانی است مورد بررسی قرار گرفته شد و مشخص شد که ساخت یک حسگر پیزوالکتریک روی یک دیافراگم نازک و طرح دار می­تواند باعث افزایش ولتاژ پیک تا پیک تا حدود ۳/۱ برابر گردد. آشکارسازی این تنش­ها با استفاده از ماده پیزوالکتریک لایه نشانی شده روی دیافراگم نازک و منعطف، می­تواند به عنوان یک میکروفن پیزوالکتریک و یا یک فشار سنج عمل کند که وجود میکروساختارها روی دیافراگم باعث افزایش حساسیت آنها خواهد شد.

بررسی تاثیر تنش های موضعی بر روی دیافراگم سیلیکانی طرح دار روی حسگرهای پیزوالکتریک نانو سیم های اکسید روی Keywords:

بررسی تاثیر تنش های موضعی بر روی دیافراگم سیلیکانی طرح دار روی حسگرهای پیزوالکتریک نانو سیم های اکسید روی authors

حامد کاوند

Advanced Micro and Nano Research Lab., Faculty of New Sciences and Technologies, University of Tehran, Tehran, Iran

جواد کوهسرخی

Advanced Micro and Nano Research Lab., Faculty of New Sciences and Technologies, University of Tehran, Tehran, Iran

رضا عسکری مقدم

Faculty of New Sciences and Technologies, University of Tehran, Tehran, Iran

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
C. Sun, J. Shi, D. J. Bayerl, and X. Wang, ...
A. Ghasemi Kordlar, J. Koohsorkhi, E. TaiediNejad; "Barium titanate nanorods ...
Z. L. Wang and W. Wu, "Nanotechnology-enabled energy harvesting for ...
M. C. Akgun, Y. E. Kalay, and H. E. Unalan, ...
Q. Wang, Y. Qiu, D. Yang, B. Li, X. Zhang, ...
R. Parize, J. Daniel Garnier, E. Appert, O. C. Pluchery, ...
آرمین حیدری، سارا درباری، "برداشت انرژی پیشرفته، استفاده از نانوژنراتور ...
بیتا سلیمی قادی ، مهدی گل سرخ تبار امیری، "پروتکل ...
M. C. Akgun, Y. E. Kalay, and H. E. Unalan, ...
امیر قاسمی کردلر، جواد کوهسرخی، حامد کاوند، "رشد نانومیله های ...
M. R. Hasan, S. H. Baek, K. S. Seong, J. ...
C. Sun, J. Shi, D. J. Bayerl, and X. Wang, ...
A. Ghasemi Kordlar, J. Koohsorkhi, E. TaiediNejad; "Barium titanate nanorods ...
Z. L. Wang and W. Wu, "Nanotechnology-enabled energy harvesting for ...
M. C. Akgun, Y. E. Kalay, and H. E. Unalan, ...
Q. Wang, Y. Qiu, D. Yang, B. Li, X. Zhang, ...
R. Parize, J. Daniel Garnier, E. Appert, O. C. Pluchery, ...
آرمین حیدری، سارا درباری، "برداشت انرژی پیشرفته، استفاده از نانوژنراتور ...
بیتا سلیمی قادی ، مهدی گل سرخ تبار امیری، "پروتکل ...
M. C. Akgun, Y. E. Kalay, and H. E. Unalan, ...
امیر قاسمی کردلر، جواد کوهسرخی، حامد کاوند، "رشد نانومیله های ...
M. R. Hasan, S. H. Baek, K. S. Seong, J. ...
نمایش کامل مراجع