تاثیر افزودن تیتانیوم به فیلمهای نازک نیترید مس: تغییر در ویژگیها

فیلمهای نازک Cu3N و Cu3N با افزودنی Ti (Ti: Cu3N) به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC به ترتیب با لستفاده از هدفهای فلزی Cu و آلیاژی دوتایی Ti13 Cu87 در محیط نیتروژنی خالص بر روی زیر لایه های (111) Si، کوارتز و اسلاید شیشه ای تهیه شدند. در این کار به نقش افزودنی Ti بر روی مشخصه های ساختاری، ریختیف اپتیکی و الکتریکی فیلمهای حاصل می پردازد. با جایگزینی جایگاه اتمهای Cu و تهی جاهای آن در ساختار Cu3N با اتمهای Ti، فیلمها بلورینگی خوبی به نمایش می گذارند و سبب رشد ترجیهی فیلمها در جهت [100] می گردد. افزودن تیتانیوم شکل دانه را از هرمی - شکل به کروی تغییر می دهد. فرایند جذب غیرمستقیم در فیلمهای Cu3N به مستقیم در فیلمهای Ti :Cu3N تغییر می کند و مقدار انرژی گاف باندی از 1.19 به 3.26 ev افزایش می یابد. افزودن Ti به Cu3N رسانندگی نوع P در فیلمها القا می کند.