طراحی و شبیه سازی فیلتر میان گذر ریزالکترومکانیکی برای کاربرد در فرکانس های میانی با به کارگیری تکنولوژی MEMS
Publish place: 15th Iranian Conference on Electric Engineering
Publish Year: 1386
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 5,237
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ICEE15_369
Index date: 6 February 2007
طراحی و شبیه سازی فیلتر میان گذر ریزالکترومکانیکی برای کاربرد در فرکانس های میانی با به کارگیری تکنولوژی MEMS abstract
در این مقاله، طراحی و شبیه سازی یک فیلتر ریز الکترومکانیکی برای کاربرد در فرکانس میانی MHz(IF) 70 با بکار گیری تکنولوژی MEMS که سازگار با فرایندهای ساخت مدارهای مجتمع می باشد، گزارش می شود. فیلتر ریزالکترومکانیکی مبتنی بر تزویج سری دو ریز تشدید گر با ضریب کیفیت (Q) بالا در گستره چند هزار بوده و با دو فناوری ریز ماشین کاری سطحی پلی سیلیکون و ریز ماشینکاری حجمی ویفرهای SOI قابل ساخت می باشد. این ریز تشدید گر که دارای ساختار و طراحی کاملاً جدید است، فرکانس میانی فیلتر را تعیین کرده و یک فنر تزویج مکانیکی، پهنای باند فیلتر را مشخص می کند. برای جلوگیری زا اثر بارگذاری فنر تزویج بر روی تشدیدگر ها ، از تزویج ربع طول موج (/4) استفاده شده است. ساختار مکانیکی فیلتر ریز مکانیکی طراحی شده به صورت تحلیلی جز محدود (FEA) با استفاده از نرم افزار SUGAR , ANSYS انجام شده و مدل مکانیکی استخراج شده در محیط MATLAB شبیه سازی شده است . فلیتر طراحی شده دارای فرکانس مرکزی 70MHz پهنای باند Q,600kHz برابر با 118، اتلاف عبوری 0/51Db و SFDR برابر با 86Db می باشد. علاوه بر مشخصات بسیار خوب ذکر شده امپدانس های ورودی و خروجی فیلتر درحدود 16 کیلواهم بوده که برای تزویج مستقیم این فیلتر قبل و بعد از آن، مناسب میباشد. لازم به ذکر است که امپدانس ورودی و خروجی بالای این نوع فیلترهای ریز مکانیکی با مبدل الکتروستاتیکی، یکی از چالش برانگیز ترین موضوعات مرتبط با این نوع قطعات بوده است که با ارائه این طرح جدید ، این مساله قابل حل می باشد.
طراحی و شبیه سازی فیلتر میان گذر ریزالکترومکانیکی برای کاربرد در فرکانس های میانی با به کارگیری تکنولوژی MEMS Keywords:
طراحی و شبیه سازی فیلتر میان گذر ریزالکترومکانیکی برای کاربرد در فرکانس های میانی با به کارگیری تکنولوژی MEMS authors
فرشاد بابازاده
گروه برق، دانشکده مهندسی دانشگاه فردوسی مشهد
سیدحسن کشمیری
گروه برق، دانشکده مهندسی دانشگاه فردوسی مشهد
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :