طراحی و ساخت منبع یون ساز به منظور افزایش کیفت لایه های نازک تحت خلاء بالا
Publish place: 2nd National Conference on Vacuum
Publish Year: 1385
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 2,038
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NCV02_006
Index date: 9 February 2007
طراحی و ساخت منبع یون ساز به منظور افزایش کیفت لایه های نازک تحت خلاء بالا abstract
در این مقاله که در سه بخش ارائه م یشود ابتدا خلاصه مطالعات انجام شده برروی چشم ههای یونی توضیح داده شده و سپس چگونگی طراحی یک چشمه یون مناسب برای فرآین دهای لای هنشانی، تشریح گردیده است. در بخش سوم آزمایش های ی که به منظور بررسی کیفیت و عملکرد دستگاه چشمه یونی برای تولید یون اکسیژن انجام شده توضیح داده شده است. لای ههای نازک اپتیکی In2O و 3 Ti2O 3 در حضور یون اکسیژن تهیه و خواص مکانیکی و اپتیکی آنها بررسی شده که مؤید کیفیت و عملکرد دستگاه چشمه یونی می باشد
طراحی و ساخت منبع یون ساز به منظور افزایش کیفت لایه های نازک تحت خلاء بالا authors
داود کلهر
دانشکده فیزیک، دانشگاه علوم پایه دامغان
فرهاد ایمانی
مرکز فناوری خلاء بالا، جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران
وحید مساحتی
مرکز فناوری خلاء بالا، جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :