بررسی بیناب تابشی پلاسمای ایجاد شده با لیزر از فلز قلع و اکسیدهای آن
Publish place: Iranian Physics Conference 1384
Publish Year: 1384
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 2,022
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC84_046
تاریخ نمایه سازی: 5 اسفند 1385
Abstract:
در این مقاله به بررسی پلاسمای ایجاد شده از قلع و اکسید های آن توسط لیزر پالسی نئودیمیم یگ می پردازیم . با ثبت بیناب تابشی پلاسمای مذکور، اثرات انرژی پالس لیزر، اندازه لکه ی لیزر ، چگالی قلع و اکسید های آن مورد بررسی قرار می گیرد . با استفاده از یک توان سنج کوچک در ناحیه EUV ، وابستگی شدت تابشی به زاویه ثبت بیناب نسبت به زاویه فرود لیزر بررسی می شود . گستره ی طیفی مورد علاقه از 6 نانومتر تا 22 نانو متر می باشد که در میکرو حکاکی مدار های مجتمع قابلیت کاربرد را دارد
Authors
فرشاد صحبت زاده لنبر
گروه فیزیک دانشگاه مازندران ، دانشکده علوم پایه ، بابلسر
هیروآکی نیشی میورا
دانشگاه اوزاکا،انیستیتو مهندسی لیزر، ژاپن
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :