خواص نانو ساختاری لایه های نازک آلومینیوم انباشتی بر روی کوارتز : بررسی اثر پلاسمای نیتروژن و بازپخت حرارتی
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 582
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NANOO01_232
تاریخ نمایه سازی: 9 تیر 1393
Abstract:
در این تحقیق در محرحله اول ابتدا لایه های نازک آلومینیوم با ضخامت 70 نانو متر با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی dc تحت شرایط انباشت یکسان بر روی زیر لایه های کوارتراتباشت شده و سپس با استفاده از دستگاه کندوپاس مغناطیسی استوانه ای لایه های آلومینیوم در زمان های متفاوت تحت تاثیر پلاسمای نیتروژن قرار گرتفه و سپس با استفاده از کوره حرارتی لایه های بدست آمده در دمای 600 درجه سانیت گراد به مدت 5 ساعت باپخت حرارتی شده اند برای بررسی خواص ساختاری و مورفوژیکی لایه های بدست آمده از آنالیزهای AFM,XRD استفاده شده است نتایج حاصل از XRD نشان می دهد که قبل و بعد از بازپخت فقط فاز آلومینیوم دیه میشود با این تفاوت که قبل از بازپخت راستای کریستالی (111) بوده و پس از بازپخت راستای کریتالی به (220) تغییر می کند نتایج حاصل از AFM نشان می دهد که مقدار زبری متوسط و RMS سطح لایه ها قبل از عملیات بازپخت حرارتی حالت با افزایش زمان پلاسما دهی کاهش یافته و پس از بازپخت افزایش یافته است.
Keywords:
Authors
سارا جهانگیری
دانشجوی دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج علوم گروه فیزیک
فاطمه حاج اکبری
عضو هیئت علمی تمام وقت دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج گروه فیزیک
علیرضا هژبری
عضو هیئت علمی تمام وقت دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج گروه فیزیک
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :