تهیه لایه های نازک نیترید مس (Cu2N) به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC و بررسی خصوصیات آنها با تغییر دمای زیرلایه
Publish place: 10th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,321
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE10_049
تاریخ نمایه سازی: 1 فروردین 1388
Abstract:
دراین کار تجربی لایه های نازک نیترید به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC بر روی زیرلایه های شیشه ای تحت دمای متفاوت زیرلایه در محدوده 2100-90C و آهنگ شارش ثابت نیتروژن sccm12/5 نوشته شده اند. طیف های پراش پرتو ایکس XRD نشان می دهد که فیلم ها دارای طبیعت چند بلوری هستند و سمت گیری کریستالی فیلم ها با افزایش دمای زیرلایه از (111) به (100) تغییر پیدا می کنند. مقاومت ویژه الکتریکی با افزایش دمای زیرلایه، کاهش می یابد. وابستگی دمای زیرلایه به نرخ نهشت فیلم ها نشان داده شد و علت تغییرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفت.
Keywords:
Authors
حسن بیدادی
دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
فرامرز هادیان
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
بیان کریمی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
ایران صیدی
دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز