بهینه سازی یک آشکارساز جدید مادون قرمز میکروبالومتر دمای اتاق مبنی بر MEMS

Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 642

This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

INCEE01_084

تاریخ نمایه سازی: 25 تیر 1393

Abstract:

این مقاله یک ساختار میکروبالومتر جدید با لایه n-well (چاه سیلیکین با ناخالصی نوع n) به عنوان عنصر فعال و لایه فلز به عنوان لایه رابط روی بازوهای پشتیبان ارائه می دهد. با توجه به عملکرد میکروبالومتر در اثر شار حرارتی وارده به میکروبالومتر تغییرات دمایی در آن ایجاد می گردد که این تغییرات دمایی با تغییر مقاومت همراه است که هرچه این تغییرات بیشتر باشد عملکرد میکروبالومتر بهتر می شود. برای میکروبالومترها ماده های مختلف زیادی استفاده شده است که با انتخاب ماده ای مناسب برای لایه فعال و لایه رابط روی بازوی پشتیبان می توان عملکرد میکروبالومتر را بهبود داد. شبیه سازی حرارتی به طور دقیق در نرم افزار ANSYS برای به دست آوردن ساختار بهینه انجام شده است. و محاسبات انجام شده باعث به دست آوردمن ماکزیمم آشکاذریر ویژه 5/1334×109 cmHz1/2/W و پاسخ دهی 32721 V/W شده است.

Authors

نسیمه مرادی

دانشجوی کارشناسی ارشد ، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات اراک، ایران

احمد عفیفی

استادیار، دانشگاه مالک اشتر، مجتمع دانشگاهی برق و الکترونیک، گروه مهندسی برق و الکترونیک، تهران، ایران

سیدمحمدمهدی نجفی زاده

دانشیار، دانشگاه آزاد اسلامی واحد اراک، مجتمع دانشگاهی مکانیک، گروه مهندسی مکانیک، اراک، ایران

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • Gordley. Lany, " A Space Instrument Application Of An Uncooled ...
  • Niklaus _ Frank، " MEMS-Based Uncooled Infrared Bolometer Arrays - ...
  • Song. Woo-Bin, " Design and characterization of adaptive M icrobolometers ...
  • Tezcan _ Deniz Sabuncuoglu، " An Uncooled ...
  • S en sors&Actuators (TRANS DUCERS , 99), pp. 61 0-613, ...
  • Technology"، IEEE Transactions _ electron devices, VOL. 50, NO. 2., ...
  • Wang _ Li-Xia، "Preparation of VO2 Microbolometer for CO2 gas ...
  • نمایش کامل مراجع