محاسبه فرکانس طبیعی و ضریب کیفیت برای حالت اتلاف تکیه گاه در تشدید گر میکرومکانیکی مربعی با دو تیر افقی نگهدارنده تحت مد ارتعاشی لغزشی داخل صفحه

تشدیدگرهای میکرومکانیکی قطعات کوچک میکرومکانیکی هستند که در فرکانس های بالا ارتعاش می کنند. تشدیدگرهای میکرومکانیکی در انواع حس گرها، فیلترها و ژیروسکوپ ها مورد استفاده قرار می گیرند. مسئله ی مهم در تشدیدگر ها، مسئله ی اتلاف انرژی است. چندین مکانیزم اتلاف انرژی در تشدیدگر ها وجود دارد که شامل اتلاف هوا، اتلاف ترموالاستیک، اتلاف بر اثر اصطکاک داخلی و اتلاف تکیه گاه هستند. این مکانیزم های اتلاف انرژی سبب افت عملکرد تشدیدگر ها می شوند. برای ارزیابی عملکرد تشدیدگرهای میکرومکانیکی از ضریبی به نام ضریب کیفیت استفاده می شود. ضریب کیفیت، کیفیت سطح میرایی یک سیستم را مشخص می کند. سیستم با ضریب کیفیت بالا دارای سطح اتلاف انرژی پایین است. در مقاله ی حاضر روابط فرکانس و ضریب کیفیت در حالت اتلاف تکیه گاه برای مد ارتعاشی لغزشی داخل صفحه تشدیدگر میکرومکانیکی مربعی با دو تیر افقی نگهدارنده ارائه شده است. نتایج پژوهش حاضر نشان می دهد ضریب کیفیت در مد ارتعاشی لغزشی داخل صفحه با افزایش پهنای تیرهای نگهدارنده به شدت افت می کند.

Keywords:

تشدیدگر میکرومکانیکی مربعی , اتلاف تکیه گاه , ضریب کیفیت