ایده ای نو در اندازه گیری سختی (زبری) سطح با استفاده از تکنولوژی میکرو الکترومکانیکی
Publish place: National Conference on Engineering Sciences, New Ideas (8)
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 632
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
AIHE08_095
تاریخ نمایه سازی: 13 آبان 1393
Abstract:
در این مقاله به ساختار یک سنسور اندازه گیری جابجایی که قابلیت اندازه گیری سطوح ناصاف در ابعاد نانو می باشد می پردازیم. مزیتی که این سنسور اندازه گیری نسبت به دستگاه های اندازه گیری دیگر دارد استفاده از روش نوری برای آشکار سازی های سطح استفاده شده است. می باشد و مزیت دیگراش استفاده از تکنولوژی میکروالکترو مکانیکی می باشد که در این روش ابعاد این سنسور با استفاده از این تکنولوژی قابل تغییر می باشد.
Keywords:
Authors
مهسا تورانی
کارشناسی ارشد برق الکترونیک
احد شکری
کارشناسی برق الکترونیک
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :