بررسی تأثیر انرژی یون های پلاسما بر روی خواص ساختاری، الکتریکی و مکانیکی لایه های نازک نیترید تیتانیوم تهیه شده به روش کندوپاش پلاسمایی واکنشی

در این پژوهش لایه های نازک نیترید تیتانیوم با استفاده از گاز کندوپاشی آرگون و گاز واکنشی نیتروزن به روش کندوپاش پلاسمایی واکنشی تهیه شدند و تأثیر تغییرات انرژی یون های بمباران کننده بر شکل گیری و خواص فیزیکی لایه ها مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان دهنده آن است که با افزایش توان منبع تغذیه (و در نتیجه افزایش انرژی یون های پلاسما) نرخ نهشت، ضخامت و اندازه دانه ها در لایههای تهیه شده افزایش می یابند. افزایش اندازه دانه ها که حاکی از بهبود خواص ساختاری و بلورینگی لایهها می باشد نتایجی از جمله کاهش مقاومت الکتریکی ویزه و افزایش سختی مکانیکی لایه های تهیه شده را در پی دارد.