بررسی تکنولوژی MOEMS و قابلیت های آن در ساخت سنسورها

در دهه اخیر موضوع میکروسنسورها مورد توجه ویژه قرار گرفته است.تکنولوژی این سنسورها از بکار گیری سیستمهای میکرو اپتو – الکترو – مکانیکی (MOEMS) در سنسورهای تماسی،مبدلهای نیرو،سنسوورهای میدان الکتریکی/مغناطیسی، سنسورهای دما، فشار، کشش، وشتاب سنج های دبی جرمی ( flow mass)، سنسورهای شیمیایی و ... حاصل شده اند. در این مقاله ابتدا MEMS و MOEMS ها و قابلیت ها و کاربردهای آنها بررسی شده و سپس به بررسی سنسورهای MOEMS پرداخته و پس از معرفی فوتونیک کریستال ها به بررسی سنسوورهای MOEMS فوتونیک کریستالی پرداخته است.البته در بررسی سنسورها بیشتر سنسورهای تا و فشار مورد توجه قرار گرفته است.در این میان چند سنسور از جنس پلیمر نیز وجود دارد که در آنها می توان مزایای استفاده از پلیمر به جای سیلیکون را به وضوح درک نمود.در نهایت چشم انداز آینده تکنولوژی میکروسنسورها مطرح و با توجه به پتانسیل ها و امکانات موجود در داخل کشور پیشنهاداتی در این زمینه ارائه گردیده است. در سنسورهای MEMS معمولاً تغییری در محیط باعث تغییر الکتریکی می گردد. و سپس این تغییر الکتریکی، مثلاً بار خازن، توسط یک طبقه الکترونیکی آشکارسازی شده و میزان تغییر محیطی را نشان می دهد. اصولاً سنسورهای MEMS به خواندن اطلاعات و پردازشگران و پیچیده ای نیاز ارند که باید در محل اندازه گیری انجام گیرد.این سیستم ها به مدارات مجتمع الکترونیکی نیاز دارند.اما با توجه به امکانات داخل کشور این مدارات باید به صورت گسسته ،طراحی گردیده و در خارج کشور ساخته شوند. خوشبختانه در سنسورهای MOEMS تغییرات اپتیکی که به دلیل تغییرات محیطی ایجاد می شود در مقایسه با سنسورهای MEMS بسیار بزرگتر و قابل اندازه گیری می باشد، همچنین این سیستم ها را می توان طوری طراحی کرد که در نقاط بحرانی عمل کنند و حساسیت بالایی داشته باشند. امکان ساخت MOEMS با امکانات موجود داخل کشور وجود دارد. این مسئله باعث شده تا در اینجا به بررسی این سیستم ها پرداخته و امکانات و محدودیت ها را بررسی نمائیم و چند سیستم را مورد تحلیل قرار دهیم تا انشاءا... گامی در ملی سازی این تکنولوژی نوظهور برداشته باشیم.