لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
Petersen K E 1982 Silicon as a me chani calmaterial ...
Chen J andWise K 1995 A high-resolution silicon mono lithicnozzle ...
Alekseev, E., Pavlidis, D., 1998, _ GHz high isolation coplanar ...
Chang, K., 1994, Microwave Solid-state Circuits and Applications, John Wiley, ...
Tania Brinda Oogarah, "Low Temperature RF MEMS Inductors Using Porous ...
C.H. Ahn and M.G Allen, _ fully integrated surface micromachined ...
Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Noboru Ishihara, and Kazuya Masu, Study ...
J. Aguilera and R. Berenguer. Design and Test of Integrated ...
C. P. Yue and , S. Wong, "On-chip spiral inductors ...
M. J. Madou, Fundamentals of M icrofabrication Boca Raton, Fla.: ...
J. M. Lop ez-Villegas, J. Samitier, C. Cane, P. Losantos ...
نمایش کامل مراجع