مروری بر سلف های میکروالکترومکانیکی

Publish Year: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 500

This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

CEAI03_027

تاریخ نمایه سازی: 9 مرداد 1395

Abstract:

واژه سیستمهای میکروالکتروماکنیکی یا همان MEMS معرف یک فرآیند تکنولوژی است که برای به وجود آوردن سیستمها و ادوات یکپارچه مجتمع با ترکیب عناصر الکترویکی و مکانیکی به کار می رود. تحقق کامل سیستمها در یک تراشه نوعی فناوری است که اجازه توسعه محصولات هوشمند تکمیل توانایی محاسباتی میکروالکترونها را با در نظر گرفتن قابلیتهای میکروحسگرهای میکرو محرکها و توسعه فضای ممکن طراحی ممکن می سازد.

Authors

مختار اعرابی

آموزشکده فنی و حرفه ای سما واحد تهران دانشگاه آزاد واحد اسلامشهر تهران ایران

مختار سربازی

آموزشکده فنی و حرفه ای سما واحد تهران دانشگاه آزاد واحد اسلامشهر تهران ایران

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • Petersen K E 1982 Silicon as a me chani calmaterial ...
  • Chen J andWise K 1995 A high-resolution silicon mono lithicnozzle ...
  • Alekseev, E., Pavlidis, D., 1998, _ GHz high isolation coplanar ...
  • Chang, K., 1994, Microwave Solid-state Circuits and Applications, John Wiley, ...
  • Tania Brinda Oogarah, "Low Temperature RF MEMS Inductors Using Porous ...
  • C.H. Ahn and M.G Allen, _ fully integrated surface micromachined ...
  • Yutaka Mizuochi, Shuhei Amakawa, Noboru Ishihara, and Kazuya Masu, Study ...
  • J. Aguilera and R. Berenguer. Design and Test of Integrated ...
  • C. P. Yue and , S. Wong, "On-chip spiral inductors ...
  • M. J. Madou, Fundamentals of M icrofabrication Boca Raton, Fla.: ...
  • J. M. Lop ez-Villegas, J. Samitier, C. Cane, P. Losantos ...
  • نمایش کامل مراجع