یک سنسور فلوی میکروالکترومکانیکی گرمایی برای کاربرد در خطوط لوله گاز طبیعی
Publish place: Third National Conference and First International Conference on Applied Research in Electrical, Mechanical and Mechatronics Engineering
Publish Year: 1394
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 521
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ELEMECHCONF03_0711
Index date: 30 July 2016
یک سنسور فلوی میکروالکترومکانیکی گرمایی برای کاربرد در خطوط لوله گاز طبیعی abstract
در این مقاله طراحی و شبیه سازی یک سنسور میکروالکترومکانیکی جهت سنجش فلوی گاز عبوری از خطوط لوله گاز طبیعی گزارش می شود. ساختار طراحی شده شامل یک زیرلایه سیلیکونی است که بر روی آن یک لایه عایق SiO2 قرار گرفته است؛ به طوری که نوارهای سنسور و هیتر در میان این لایه عایق قرار گرفته اند. ساختار دارای طول کلی 1800μm بوده و نوارهای سنسور و هیتر هر کدام دارای طول 30μm، ضخامت 3μm و پهنای 600μm و از جنس پلی سیلیکون می باشند. سیال گاز طبیعی از سطح ساختار عبور کرده و تحت تأثیر گرمای ایجاد شده توسط هیتر قرار می گیرد. گرادیان دما در اطراف سنسورها به آهنگ انتقال گرمای سیال بستگی دارد. با داشتن سرعت گاز عبوری از خط لوله با سطح مقطع مشخص، فلوی گاز عبوری قابل محاسبه است. ارتباط سیال و گرادیان دمای ایجاد شده در اطراف سنسور توسط نرم افزار COMSOL شبیه سازی شده است. در این پژوهش، مقیاس تجاری و خانگی با حداکثر فشار گاز 0/25psi، حداکثر سرعت 20m/s و قطر خط لوله گاز طبیعی حداکثر 4 اینچ در نظر گرفته شده است.
یک سنسور فلوی میکروالکترومکانیکی گرمایی برای کاربرد در خطوط لوله گاز طبیعی Keywords:
یک سنسور فلوی میکروالکترومکانیکی گرمایی برای کاربرد در خطوط لوله گاز طبیعی authors
مصطفی پروین
گروه مهندسی برق، واحد بندرعباس، دانشگاه آزاد اسلامی، بندرعباس، ایران
فرشاد بابازاده
استادیار گروه الکترونیک، دانشکده مهندسی برق، واحدیادگار امام خمینی(ره) شهر ری، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران
علی تجویدی
استادیار گروه مهندسی برق، واحد بنندعباس، دانشگاه آزاد اسلامی، بندرعباس، ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :