بررسی بهبود اندوکتانس و ضریب کیفیت ساخت سلف مجتمع در لایه های مختلف فلز در یک تکنولوژی مدارهای مجتمع استاندارد با زیر لایه سیلیکون
Publish place: 11th Iranian Student Conference on Electrical Engieering
Publish Year: 1387
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 2,728
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISCEE11_199
تاریخ نمایه سازی: 15 اسفند 1386
Abstract:
هدف از این مقاله بررسی ساخت سلف در لایه های مختلف فلزی در تکنولوژی های متداول ساخت مدارهای مجتمع به منظور رسیدن به کیفیت بالاتر می باشد. نتایج شبیه سازی با استفاد ه از شبیه ساز الکترومغناطیسی SONNET در این مقاله نشان داد که هرچه برای ساخت از لایه های فلز بالاتر استفاده شود به دلیل دور شدن سلف از زیر لایه پر تلفات ضریب و کاهش خازن پارازیتی بین سلف و زیر لایه کیفیت سلف بهبود پیدا می کند و فرکانس خود تشدید سلف نیز افزایش می یابد.
Keywords:
Authors
نیما حسینی
موسسه آموزش عالی سجاد
مهدی اکبری نوقابی
موسسه آموزش عالی سجاد
هومن نبوتی
موسسه آموزش عالی سجاد
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :