بررسی اثر طول تشدیدگرمیکروالکترومکانیکی بر تغییر فرکانس آن با دما

درسال های اخیر یکی از کاربردهای مهم ادوات میکروالکترومکانیک استفاده از آنها به عنوان سنسورها و عملگرها بوده است. در این مقاله، دو تشدیدگر میکروالکترومکانیک دوسر ثابت که تنها دارای طول متفاوت می باشند مورد بحث و بررسی قرارگرفته، تا تاثیرابعاد بر روی تغییر فرکانس با دما مورد بررسی قرار گیرد. اگر از تشدید گر میکروالکترومکانیکی به عنوان سنسور دما استفاده شود، هرچه فرکانس آن با دما بیشتر تغییر نماید مطلوب تر می باشد. گستره دمایی مورد استفاده دراین شبیهسازی بین 293 کلوین تا 343 کلوین مورد بررسی قرار گرفته است. تغییرات دامنه تیر که در اثرنیروی الکترواستاتیک میباشد، در دماهایم محیط متفاوت که می تواند ناشی از مدارات جانبی باشد مورد بحث و بررسی قرار گرفته است. تحریک میکروتیرها توسط ولتاژDC و به مقدار 5 ولت می باشد. برای شبیه سازی سه بعدی عملکرد این قطعه از روش المان محدود استفاده گردیده است. تشدیدگر میکروالکترومکانیکی که مورد بحث ما از ماده پلی سیلیکون با مدول یانگ 161 گیگاپاسکال، چگالی 2321 کیلوگرم برمترمکعب و ضریب دمایی 1

Keywords:

میکروالکترومکانیک , تشدیدگر , فرکانس , دامنه , دما