بررسی تاثیر انیلینگ روس خواص اپتیکی و ساختاری لایه های نازک اکسید زیرکونیم تهیه شده با فرایند سل - ژل

در این پژوهش، لایه های نازک اکسید زیرکونیم را با استفاده از روش سل - ژل و با دو نوع سل متفاوت تهیه نمودیم. سل اول بر پایه اتانول و سل دوم بر پایه پلیمر PVA بود. با انیلینگ لایه های مختلف تهیه شده از این دو نوع سل، در دماهای گوناگون از لحاظ ساختاری و اپتیکی مورد بررسی قرار گرفتند. لایه های تهیه شده در این پژوهش دارای شفافیت بالا و یکنواختی خوب بود. با افزایش دمای باز پخت در تمام نمونه ها ضریب شکست لایه های اکسید زیرکونیوم افزایش می یابد. نقش پراش پرتو X مربوط به تمام نمونه های تهیه شده از دو نوع سل ویژگی کریستالی را نشان می دهد. لایه هایی که در دماهای کمتر از 300 درجه سانتیگراد بازپخت شده اند، از نظر ساختاری دارای ساختار چهار وجهی هستند. با افزایش دمای بازپخت، فاز انتقالی ایجاد می شود و ساختارهای گوناگون اکسید زیرکونیم مشاهده می شود. علاوه بر تاثیر دما، نوع پیش ماده نیز در شکل ساختار موثر است. لایه اکسید زیرکونیوم با سل بر پایه پلیمر PVA که در این پژوهش گزارش شده است، به عنوان روش نو برای تهیه سل اکسید زیر کونیوم می باشد.

Keywords:

لایه های نازک , انیلینگ , اکسید زیر کونیم , پراش پرتو ایکس , PVA