اندازه گیری هیدروژن در لایه های سطحی مواد به روش آنالیز با باریکه یونی

حضور هیدروژن در لایه های سطحی مواد نقش به سزائی در برخی خواص فیزیکی آنها دارد . هیدروژن میتواند در فلزی همانند فولاد، ساختار آن را تضعیف کند اما در موارد بسیار بیشتری حضور هیدروژن در مواد، عاملی برای بهبود خواص و ساختار آنها است. با توجه به اهمیت نقش هیدروژن در مواد، دستیابی به داده های تجربی مرتبط به منظور درک بهتر پدیده ها و تصحیح شرایط فرآیند مواد از اهمیت ویژ های برخوردار است. اندازه گیری هیدروژن در مواد همواره از چالش های پژوهشگران بوده است. در این پژوهش هیدروژن به روش "آشکارسازی ذرات پس زده از برخوردکشسان" ( ERD) و با استفاده از باریکه آلفا و پروتون ایجاد شده توسط شتاب دهنده واندوگراف 3MeV بخش فیزیک هسته ای سازمان انرژی اتمی اندازه گیری شده است . آنالیز هی دروژن در نمونه ای از فلز تیتانیوم و نیز نیمه هادی تک بلور Si که با شرایط خاصی آماده سازی شده اند، انجام شد . با اندازه گیری کمیت های مربوط به نمایه عمقی توزیع هیدروژن در نمونه ها، توانایی روش آشکارسازی ذرات پس زده از برخوردکشسان برای آنالیز هیدروژن در محدوده چند صد نانومتر از سطح نمونه نشان داده شده است.