بررسی نحوه ی به دست آوردن استحکام استاتیکی و عمر خستگی درمیکرو الکترومکانیکال سیستم MEMS

این مقاله به نحوه دستیابی به استحکام استاتیکی کششی و عمر خستگی قطعات میکرو می پردازد و بدین منظور ابتدا یکی از بهترین سازه ها و دستگاه های طراحی شده برای تست، انتخاب شده و سپس بهبررسی مختصری از نحوه ساخت و عملکرد آن پرداخته می شود. با استفاده از معادلات مکانیک شکست، فرمول هایی برای تخمین استحکام کششی نهایی و عمر خستگی، به دست آمده است. مواد میکرو به علت ترد بودن باید قبل از انجام تست مکانیکی مورد عملیات حرارتی قرار بگیرند تا تنش پسماند، کاهش و چقرمگی آن ها افزایش یابد. بر روی نمونه های مختلف، تست های استاتیکی وخستگی ای که انجام شده، بررسی شده و معلوم می شود که استفاده از فرمول تئوری، چندان برای تخمین استحکام استاتیکی میکرو مناسب نیست زیرا تفاوت در زدایش به هنگام ساخت دو قطعهیکسان باعث تفاوت در ایجاد ترک اولیه و درنتیجه استحکام و عمرمی گردد؛ ولی با توجه به استحکام استاتیکی به دست آمده از آزمایش، می توان عمر خستگی قطعات با ابعاد میکرو را به خوبی پیش بینی کرد.

Keywords:

میکرو , تنش پسماند , استحکام , عمر خستگی , زدایش