بررسی تاثیر نیتروژن ورودی در خواص نانومکانیکی فیلم نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی
Publish place: The 13th scientific conference of students of material engineering and metallurgy of Iran
Publish Year: 1395
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 592
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
SCMEMI13_233
Index date: 25 January 2017
بررسی تاثیر نیتروژن ورودی در خواص نانومکانیکی فیلم نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی abstract
امروزه نیترید تانتالوم به دلیل خواص بسیار مطلوبی که دارد، استفاده زیادی در صنعت پیدا کرده است. به دلیل دیرگداز بودن این فلز، بهترین راه برای ایجاد لایههای نازک از ترکیبات آن، استفاده از روش کندوپاش است. اما به دلیل تنوع فازی که در سیستم تانتالوم- نیتروژن وجود دارد،پوششهای نیتریدی تولید شده با این روش، گستره وسیعی از خواص مکانیکی را نشان میدهد. دراین پژوهش، با تغییر میزان نیتروژن در گازورودی به محفظه لایهنشانی، پوششهای مختلف ایجاد و خواص مکانیکی آن با استفاده از روش سختی سنجی نانو اندازه گیری شده و از آنالیز اشعه ایکس و میکروسکوپ الکترونی روبشی جهت مشخصه یابی فیلمهای نازک نیترید تانتلوم استفاده شد. در نتیجه این پژوهش مشخص شد که با افزایش درصد نیتروژن در گاز ورودی به محفظه لایه نشانی، نیترید تانتالوم از γ-Ta2N بهε-TaN و سپس به δ-TaN تغییر فاز داده که این موضوع سبب کاهش سختی و افزیش انرژی جذب شده در اثر تغییر فرم پلاستیک خواهد شد
بررسی تاثیر نیتروژن ورودی در خواص نانومکانیکی فیلم نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی Keywords:
بررسی تاثیر نیتروژن ورودی در خواص نانومکانیکی فیلم نازک نیترید تانتالوم تولید شده به روش کندوپاش مغناطیسی واکنشی authors
سیدسیاوش فیروزآبادی
دانشجوی مقطع دکتری دانشگاه امیرکبیر
ژینا رزاقی
دانشجوی مقطع کارشناسی دانشگاه امیرکبیر
کامران دهقانی
دانشیار دانشگاه امیرکبیر
مالک نادری
استادیار دانشگاه امیرکبیر
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :