تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشهای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی چسبندگی آنها به زیرلایه
Publish place: 3rd National Conference on Vacuum
Publish Year: 1386
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,395
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.
- Certificate
- I'm the author of the paper
این Paper در بخشهای موضوعی زیر دسته بندی شده است:
Export:
Document National Code:
NCV03_004
Index date: 22 August 2008
تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشهای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی چسبندگی آنها به زیرلایه abstract
در این کار تجربی لایه های نازکی از تیتانیوم با استفاده از دستگاه کندوپاش مگنترونی تحت شرایط متفاوت بر روی زیر لایه های شیشه ای تهیه و تأثیر چهار پارامتر مهم دما ی زیرلایه، فشار گاز کاری (آرگن)، انرژی یون های تولید شده در پلاسما و فشار پایه بر روی چسبندگی این لایه ها به زیرلایه های شیشه ای مورد بررسی قرار گرفته است . نتایج حاصله نشان می دهد که چسبندگی لایه های نازک تیتانیومی به زیرلایه های شیشه ای با افزایش دمای زیرلایه افزایش ، با افزایش فشار پایه افزایش و با افزایش فشار گاز آرگن کاهش پیدا می کند . افزایش انرژی یونهای فرودی نیز موجب افزایش چسبندگی لایه ها به زیرلایه می گردد . همچنین علل تغییرات مشاهده شده در چسبندگی در اثر افزایش دمای زیرلایه، فشار گاز آرگن ، انرژی یونهای فرودی و فشار پایه مورد بحث قرار گرفته است.
تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشهای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی چسبندگی آنها به زیرلایه authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :