بررسی خواص آبدوستی و اپتیکی لایه های نازک ترکیبی Tix Si1-xO2 ساخته شده به روش اسپاترینگ همزمان واکنشی RF
Publish place: 3rd National Conference on Vacuum
Publish Year: 1386
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,488
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NCV03_010
Index date: 22 August 2008
بررسی خواص آبدوستی و اپتیکی لایه های نازک ترکیبی Tix Si1-xO2 ساخته شده به روش اسپاترینگ همزمان واکنشی RF abstract
در این تحقیق، خواص آبدوستی و اپتیکی لایه های نازک ترکیبی TixSi1-xO2 که به روش اسپاترینگ همزمان واکنشی فرکانس رادیویی (RF) در محیط گاز مخلوط آرگون( % 60 ) واکسیژن( % 40 ) رشد داده شده اند، مورد مطالعه و بررسی قرار گرفته است. برای بررسی خاصیت آبدوستی نمونه ها از اندازه گیری زاویه تماس قطرات آب با سطح لایه استفاده شد. این زاویه با تابش اشعه ماورای بنفش (UV) روی سطح لایه به میزان قابل توجهی کاهش می یابد. با قطع تابش اشعه UV به تدریج خاصیت آبدوستی از بین می رود، ولی مشاهده گردید که نمونه ترکیبی Ti0.56Si0.44O2 تا مدت زمان طولانی خاصیت آبدوستی خود را حفظ نمود. همچنین ضرایب عبور و بازتاب لایه ها با روش طیف سنجی نوری در محدوده طول موج مرئی و ماورای بنفش نزدیک اندازه گیری گردید. مشاهده شد که با افزایش میزان اکسید تیتانیم در ترکیب، میزان عبورکاهش یافته و به مقدار بازتاب لایه افزوده می شود.
بررسی خواص آبدوستی و اپتیکی لایه های نازک ترکیبی Tix Si1-xO2 ساخته شده به روش اسپاترینگ همزمان واکنشی RF authors
محمد میرشکاری سلیمانی
دانشکده فیزیک- دانشگاه صنعتی شریف
روح الله عظیمی راد
دانشکده فیزیک- دانشگاه صنعتی شریف
امید اخوان
دانشکده فیزیک- دانشگاه صنعتی شریف
علیرضا مشفق
پژوهشکده علوم و فناوری نانو- دانشگاه صنعتی شریف