آنالیز با باریکه یونی: ابزاری مناسب در اندازه گیری های مواد و لایه های نازک
Publish place: 3rd National Conference on Vacuum
Publish Year: 1386
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,832
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NCV03_028
Index date: 22 August 2008
آنالیز با باریکه یونی: ابزاری مناسب در اندازه گیری های مواد و لایه های نازک abstract
آنالیز با باریکه یونی ابزاری توانمند در آنالیز و مشخصه یابی مواد است. برخی از این روشها مانند پیکسی به صورت روزمره از سال 1355 در آزمایشگاه واندوگراف به کار می رود. استفاده از روشهای دیگری مانند میکروپیکسی و چانلینگ و ERD از سال 1378 آغاز شد. در این مقاله پس از مروری کوتاه بر روشهای آنالیز با باریکه یونی که در آزمایشگاه ما به کار می رود به کاربرد این آنالیزها در مشخصه یابی مواد و بخصوص لایه های نازک می پردازیم و با ذکر مثال توانمندی های این روشها را نشان می دهیم.
آنالیز با باریکه یونی: ابزاری مناسب در اندازه گیری های مواد و لایه های نازک authors