طراحی و شبیه سازی سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی با تیرتوپر
Publish Year: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 370
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
EECCONF02_012
تاریخ نمایه سازی: 10 تیر 1396
Abstract:
در این مقاله یک سنسور فشار تشدیدی با دو مد ارتعاشی طولی و موجی گزارش میشود. این سنسور از جنس سیلیکون بوده و براساس تکنولوژی MEMS طراحی شده است و در دو مد طولی و موجی دارای فرکانس تشدید میباشد. با اعمال فشار به ساختار، فرکانس تشدید آن تغییر میکند. مد موجی به فشار حساس بوده ولی مد طولی در برابر اعمال فشار از تغییر فرکانس تشدید کمتری برخودار است. ابعاد کلی ساختار μm 20 × μm 20 × μm 400 و ابعاد غشاء حساس به فشار μm 20 × μm 2 × μm 300 در نظر گرفته شده است. فرکانس ارتعاش مد موجی سی و نهم در غشاء برابر با MHz 122 و فرکانس ارتعاش مد طولی ششم برابر با MHz 120 بوده و جابهجایی فرکانسی مد موجی MHz 3937/2 و برای مد حجمی این جابه جایی برابر MHz 0334/0 میباشد. این سنسور در محیط نرمافزار ANSYS طراحی و شبیه سازی شده است.
Keywords:
Authors
حسن کمالی
دانشجو گروه الکترونیک، دانشکده فنی مهندسی، واحد بندرعباس، دانشگاه آزاد اسلامی، بندرعباس، ایران
فرشاد بابازاده
استادیار گروه الکترونیک، دانشکده مهندسی برق، واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران،ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :