Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings
Login |Register |Help |عضویت کتابخانه ها
Paper
Title

طراحی و شبیه سازی سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی با تیرتوپر

Year: 1395
COI: EECCONF02_012
Language: PersianView: 257
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download

Buy and Download

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این Paper را که دارای 10 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

Authors

حسن کمالی - دانشجو گروه الکترونیک، دانشکده فنی مهندسی، واحد بندرعباس، دانشگاه آزاد اسلامی، بندرعباس، ایران
فرشاد بابازاده - استادیار گروه الکترونیک، دانشکده مهندسی برق، واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران،ایران

Abstract:

در این مقاله یک سنسور فشار تشدیدی با دو مد ارتعاشی طولی و موجی گزارش میشود. این سنسور از جنس سیلیکون بوده و براساس تکنولوژی MEMS طراحی شده است و در دو مد طولی و موجی دارای فرکانس تشدید میباشد. با اعمال فشار به ساختار، فرکانس تشدید آن تغییر میکند. مد موجی به فشار حساس بوده ولی مد طولی در برابر اعمال فشار از تغییر فرکانس تشدید کمتری برخودار است. ابعاد کلی ساختار μm 20 × μm 20 × μm 400 و ابعاد غشاء حساس به فشار μm 20 × μm 2 × μm 300 در نظر گرفته شده است. فرکانس ارتعاش مد موجی سی و نهم در غشاء برابر با MHz 122 و فرکانس ارتعاش مد طولی ششم برابر با MHz 120 بوده و جابهجایی فرکانسی مد موجی MHz 3937/2 و برای مد حجمی این جابه جایی برابر MHz 0334/0 میباشد. این سنسور در محیط نرمافزار ANSYS طراحی و شبیه سازی شده است.

Keywords:

Paper COI Code

This Paper COI Code is EECCONF02_012. Also You can use the following address to link to this article. This link is permanent and is used as an article registration confirmation in the Civilica reference:

https://civilica.com/doc/612519/

How to Cite to This Paper:

If you want to refer to this Paper in your research work, you can simply use the following phrase in the resources section:
کمالی، حسن و بابازاده، فرشاد،1395،طراحی و شبیه سازی سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی با تیرتوپر،The Secound National Conference on New research in electrical engineering،Ahar،https://civilica.com/doc/612519

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :

  • W. P. Eaton, et. al., _ M icromachined pressre sensors: ...
  • C. F. Chiang, et. al., "Resonant pressure sensor with onchip ...
  • R. Tabrizian and F. Ayazi, _ _ Ac oustic al ...
  • W. K. Blake, "The radiation from free-fre beams in air ...
  • Y.-H. Cho, A. P. Pisano, and R. T. Howe, "Viscous ...
  • M. Christen, "Air and gas damping of quartz tuning forks, ...
  • L. Chen, and M. Tabib-Azar, "Air and gas damping of ...
  • W.E.Newell, _ Miniaturization of tuning forks, " Science 161, no. ...
  • W. Zhang and K. Turner, "Frequency dependent fluid damping of ...

Research Info Management

Certificate | Report | من نویسنده این مقاله هستم

اطلاعات استنادی این Paper را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

Scientometrics

The specifications of the publisher center of this Paper are as follows:
Type of center: Azad University
Paper count: 4,069
In the scientometrics section of CIVILICA, you can see the scientific ranking of the Iranian academic and research centers based on the statistics of indexed articles.

New Papers

New Researchs

Share this page

More information about COI

COI stands for "CIVILICA Object Identifier". COI is the unique code assigned to articles of Iranian conferences and journals when indexing on the CIVILICA citation database.

The COI is the national code of documents indexed in CIVILICA and is a unique and permanent code. it can always be cited and tracked and assumed as registration confirmation ID.

Support