طراحی و شبیه سازی مدار مجتمع خوانش ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS
Publish place: چهارمین کنفرانس ملی و دومین کنفرانس بین المللی پژوهش های کاربردی در مهندسی برق، مکانیک و مکاترونیک
Publish Year: 1395
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 879
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ELEMECHCONF04_004
Index date: 2 August 2017
طراحی و شبیه سازی مدار مجتمع خوانش ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS abstract
در این مقاله، طراحی و شبیه سازی مدار مجتمع خوانش برای یک حسگر زاویه (یا سرعت زاویه) با استفاده از نرم افزار Cadence در تکنولوژی TSMC0.18 و تغذیه 8/1± ولت ارایه شده است. این مدار جهت اندازه گیری سرعت زاویه ای در ژیروسکوپ ارتعاشی میکروالکترومکانیکی استفاده می شود. فرض بر این است که ژیروسکوپ به صورت الکترواستاتیک و با سیگنال سینوسی با دامنه و فرکانس ثابت 10 کیلو هرتز (فرکانس تشدید ژیروسکوپ) تحریک می شود. طراحی مدار شامل: مبدل زمان پیوسته خازن به ولتاژ با استفاده از تقویت کننده ی امپدانسی با ساختار T شکل، ضرب کننده (دمودلاتور) و فیلتر پایین گذر می-باشد. در مدار طراحی شده، تقویت کننده مبدل امپدانسی با ساختار Tشکل برای آشکارسازی تغییرات خازنی ارایه شده است. این تقویت کننده گین امپدانسی 520 کیلو اهم را تولید می کند و تفکیک پذیری 9.8 aF/√Hz در فرکانس 10 کیلوهرتز و با محدوده ی دینامیکی 2/102 دسیبل را در اختیار می گذارد. جهت طراحی تقویت کننده مبدل امپدانسی، آپ امپ متقارن 3 مرحله ای با طبقات کسکود و جبران سازی میلر با مشخصات بهره حلقه باز 115dB و حاشیه فاز 64 درجه طراحی شده است.
طراحی و شبیه سازی مدار مجتمع خوانش ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS Keywords:
ژیروسکوپ , میکروالکترومکانیکی , تقویت کننده ی امپدانسی , آپ امپ , دمودلاتور , تفکیک پذیری , کسکود , محدوده ی دینامیکی , جبران سازی میلر , Cadence , TSMC0.18 , MEMS
طراحی و شبیه سازی مدار مجتمع خوانش ژیروسکوپ ارتعاشی MEMS authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :