تهیه لایه های نازک نیترید مس به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی dc و برسی خصوصیات آنها با تغییر آهنگ شارش نیتروژن
Publish place: 9th Conference on Condensed Matter
Publish Year: 1387
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,728
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
CMC09_089
Index date: 26 December 2008
تهیه لایه های نازک نیترید مس به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی dc و برسی خصوصیات آنها با تغییر آهنگ شارش نیتروژن abstract
در این کار تجربی لایه های نازک نیتریدمس به روش کند و پاش مگنترونی واکنشی dc بر روی زیر لایه های شیشه ای تحت آهنگ شارش متفاوت نیتروژن و دمای ثابت زیر لایه نهشته شده اند. در اینجا وابستگی فشار جزئی نیتروژن به آهنگ شارش نیتروژن و همچنین نرخ نهشته، چگالی، درصد نیتریده شدن و مقاومت فیلمها به فشار جزئی نیتروژن نشان داده شده و علل تغییرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفته است.
تهیه لایه های نازک نیترید مس به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی dc و برسی خصوصیات آنها با تغییر آهنگ شارش نیتروژن authors
حسین بیدادی
گروه حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز