ایجاد پوشش دوتایی نیتروژن دهی پلاسمایی - TiN به روش PACVD
Publish place: 10th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1388
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 3,910
This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ISSE10_112
Index date: 21 March 2009
ایجاد پوشش دوتایی نیتروژن دهی پلاسمایی - TiN به روش PACVD abstract
پوشش های سخت پایه نیتریدی به طور گسترده ای برای بالا بردن مقاومت به سایش فولادهای ابزار کاربرد دارند. در سال های اخیر، روش رسوب نشانی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD) یک تکنیک مناسبی برای رسوب نشانی پوشش های سخت بر روی فولادهای ابزار با شکل هندسی پیچیده ایجاد نموده است. به کمک این روش بر روی فولاد H11 که تحت فرآیند نیتروژن دهی پلاسمایی با نسبت (فرمول در متن اصلی مقاله) برابر با 0/25 قرار گرفته بود، پوشش TiN در دمای 520 درجه سانتیگراد لایه نشانی شد. بدین منظور مخلوط از گازهای Ar ( با نرخ 0/05 نرمال لیتر بر دقیقه) ، H2 ( با نرخ 1/6 نرمال لیتر بر دقیقه)، N2 ( با نرخ 0/25 نرمال لیتر بر دقیقه) و TiCl4 ( با نرخ 0/1 نرمال لیتر بر دقیقه به کمک حامل H2) استفاده شد. ساختار کریستالی ، ریزساختار و خواص مکانیکی پوشش به کمک پراش اشعه X، میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) ، میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و ریزسختی سنج مورد بررسی قرار گرفتند. نتایج نشان دادند که پوشش TiN ایجاد شده سختی سطح در حدود 1750 ویکرز ایجاد کرده و زبری سطح محاسبه شده 72 نانومتر می باشد.
ایجاد پوشش دوتایی نیتروژن دهی پلاسمایی - TiN به روش PACVD Keywords:
ایجاد پوشش دوتایی نیتروژن دهی پلاسمایی - TiN به روش PACVD authors
مهدی رئوفی
دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه علم و صنعت ایران
شمس الدین میردامادی
دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه علم و صنعت ایران
فرزاد محبوبی
دانشکده مهندسی معدن و متالورژی دانشگاه صنعتی امیرکبیر
شاهرخ آهنگرانی
سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :