شبیه سازی مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم به روش PVD بر روی زیرلایه گرافیت با استفاده از روش EAM و مونت کارلوی جنبشی
Publish place: 10th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 2,247
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE10_142
تاریخ نمایه سازی: 1 فروردین 1388
Abstract:
دراین مقاله مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم بر روی زیرلایه گرافیت در دماها و آهنگ های انباشت گوناگون به صورت 3 بعدی با استفاده از روش مونت کارلو جنبشی شبیه سازی شده است. در این شبیه سازی انرژی های مربوط به سدهای پتانسیل مربوط به اتم های آلومینیوم با استفاده از روش (Embedded Atom Method) EAM محاسبه شده و برای بر هم کنش بین اتم های آلومینیوم - آلومینیوم از پتانسیل ساتون چن و آلومنیم - کربن از پتانسیل لنارد جونز استفاده شده است. در این شبیه سازی تغییرات تنش باقی مانده و اندازه متوسط جزیره ها نسبت به تغییرات دمای زیرلایه و آهنگ انباشت موردبررسی قرار گرفته است. نتایج نشان میدهد با افزایش دما، تنش باقی مانده کاهش یافته و به یک مقدار ثابت می رسد. همچنین اندازه جزیره های در حال رشد با افزایش دما کاهش و با افزایش آهنگ انباشت کاهش یافته است. نتایج از لحاظ کیفی هم خوانی خوبی با نتایج تجربی دارد.
Keywords:
Authors
مهران قلی پور شهرکی
دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
سعید قربانعلی
دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
سیدروح ا... معصومی
دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
حمیده یزدان پناه اسرمی
گروه مهندسی مواد دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج