شبیه سازی مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم به روش PVD بر روی زیرلایه گرافیت با استفاده از روش EAM و مونت کارلوی جنبشی
Publish place: 10th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1388
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 2,294
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ISSE10_142
Index date: 21 March 2009
شبیه سازی مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم به روش PVD بر روی زیرلایه گرافیت با استفاده از روش EAM و مونت کارلوی جنبشی abstract
دراین مقاله مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم بر روی زیرلایه گرافیت در دماها و آهنگ های انباشت گوناگون به صورت 3 بعدی با استفاده از روش مونت کارلو جنبشی شبیه سازی شده است. در این شبیه سازی انرژی های مربوط به سدهای پتانسیل مربوط به اتم های آلومینیوم با استفاده از روش (Embedded Atom Method) EAM محاسبه شده و برای بر هم کنش بین اتم های آلومینیوم - آلومینیوم از پتانسیل ساتون چن و آلومنیم - کربن از پتانسیل لنارد جونز استفاده شده است. در این شبیه سازی تغییرات تنش باقی مانده و اندازه متوسط جزیره ها نسبت به تغییرات دمای زیرلایه و آهنگ انباشت موردبررسی قرار گرفته است. نتایج نشان میدهد با افزایش دما، تنش باقی مانده کاهش یافته و به یک مقدار ثابت می رسد. همچنین اندازه جزیره های در حال رشد با افزایش دما کاهش و با افزایش آهنگ انباشت کاهش یافته است. نتایج از لحاظ کیفی هم خوانی خوبی با نتایج تجربی دارد.
شبیه سازی مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم به روش PVD بر روی زیرلایه گرافیت با استفاده از روش EAM و مونت کارلوی جنبشی Keywords:
شبیه سازی مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم به روش PVD بر روی زیرلایه گرافیت با استفاده از روش EAM و مونت کارلوی جنبشی authors
مهران قلی پور شهرکی
دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
سعید قربانعلی
دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
سیدروح ا... معصومی
دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک
حمیده یزدان پناه اسرمی
گروه مهندسی مواد دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج