شبیه سازی مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم به روش PVD بر روی زیرلایه گرافیت با استفاده از روش EAM و مونت کارلوی جنبشی

Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 2,206

This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ISSE10_142

تاریخ نمایه سازی: 1 فروردین 1388

Abstract:

دراین مقاله مراحل اولیه رشد لایه های نازک آلومینیوم بر روی زیرلایه گرافیت در دماها و آهنگ های انباشت گوناگون به صورت 3 بعدی با استفاده از روش مونت کارلو جنبشی شبیه سازی شده است. در این شبیه سازی انرژی های مربوط به سدهای پتانسیل مربوط به اتم های آلومینیوم با استفاده از روش (Embedded Atom Method) EAM محاسبه شده و برای بر هم کنش بین اتم های آلومینیوم - آلومینیوم از پتانسیل ساتون چن و آلومنیم - کربن از پتانسیل لنارد جونز استفاده شده است. در این شبیه سازی تغییرات تنش باقی مانده و اندازه متوسط جزیره ها نسبت به تغییرات دمای زیرلایه و آهنگ انباشت موردبررسی قرار گرفته است. نتایج نشان میدهد با افزایش دما، تنش باقی مانده کاهش یافته و به یک مقدار ثابت می رسد. همچنین اندازه جزیره های در حال رشد با افزایش دما کاهش و با افزایش آهنگ انباشت کاهش یافته است. نتایج از لحاظ کیفی هم خوانی خوبی با نتایج تجربی دارد.

Keywords:

لایه های نازک , شبیه سازی مونت کارلو , EAM , آلومینیم

Authors

مهران قلی پور شهرکی

دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک

سعید قربانعلی

دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک

سیدروح ا... معصومی

دانشکده علوم پایه دانشگاه اراک

حمیده یزدان پناه اسرمی

گروه مهندسی مواد دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج