مدلسازی ژیروسکوپ MEMS جهت اندازه گیری سرعت زاویه ای در راستایمحور عرضی
Publish place: 3rd National Conference on Avionics
Publish Year: 1396
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,749
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ICADI03_067
Index date: 26 February 2018
مدلسازی ژیروسکوپ MEMS جهت اندازه گیری سرعت زاویه ای در راستایمحور عرضی abstract
در این مقاله یک ژیروسکوپ MEMS برای اندازه گیری سرعت زاویه ای حول محور های درون صفحه ای X و Y طراحی و شبیه سازی شده است. ژیروسکوپ های MEMS به دلیل عدم احتیاج به یاتاقان، مشکلات ناشی از فرسودگی و ساییدگی در آنها رخ نمی دهد. علاوه بر این مصرف انرژی کمی دارند و بسیار کوچک و ارزان می باشند. این ژیروسکوپ دارای یک جرم حساس است و از تیرک های تاخورده برای تعلیق آن استفاده شده است. با به کارگیری این نوع تیرک ها ولتاژ کمتری برای راه اندازی ژیروسکوپ نیاز خواهد بود. راه اندازی این ژیروسکوپ به شیوه الکترواستاتیکی و از نوع تحریک- شانه ای است که توانایی راه اندازی با جابه جایی بالا به ازای یک ولتاژ پایین را دارا می باشد. آشکارسازی سرعت زاویه ای نیز به صورت خازنی و از نوع شکاف- متغیر می باشد. پاسخ فرکانسی این ژیروسکوپ نشان می دهد که اختلاف بین فرکانس تشدید مدهای تحریک و حس کننده فقط Hz 5/24 است. علاوه بر این تحلیل گذرا پاسخ خروجی این ژیروسکوپ نشان می دهد که دامنه جابه جایی محور حس کننده به ازای ورودی سرعت زاویه ای 1 رادیان بر ثانیه حدود 28 نانومتر است.
مدلسازی ژیروسکوپ MEMS جهت اندازه گیری سرعت زاویه ای در راستایمحور عرضی Keywords:
مدلسازی ژیروسکوپ MEMS جهت اندازه گیری سرعت زاویه ای در راستایمحور عرضی authors
ابوالحسن صابری مقدم
کارشناس ارشد الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر،
احمد عفیفی
دانشیار دانشکده برق و الکترونیک، دانشگاه صنعتی مالک اشتر