سنسور فشار قابل کاشت میکروالکترومکانیکال با استفاده از پیزورزیستیو برای اندازه گیری فشار داخل جمجمه

در این مقاله ، سنسور فشار داخل جمجمه پیزورزیستیو میکروالکترومکانیکی (MEMS (برای رنج فشار mmhg 225-0 باهدف افزایش حساسیت ،طراحی و شبیه سازی شده است.هنگامی که فشار بر دیافراگم اعمال می شود ،تنش بوجود آمده در دیافراگم ،مقاومت پیزورزیستورها را تغییر می دهد و موجب تغییر ولتاژ خروجی می شود .در سنسور جدید جنس و ابعاد دیافراگم و همچنین ساختار پیزورزیستورها تغییر یافته است. بر اساس نتایج شبیه سازی حساسیت mmhg/µv 1164.206 بدست آمده است و خروجی کاملا خطی است که نسبت به کارهای گذشته بهبود قابل ملاحظه ای حاصل شده است.

Keywords:

پیزورزیستیو , سنسور فشار , کامپوزیت , میکروالکترومکانیکال