بررسی خواص ساختاری و فیزیکی فیلم های نیترید زیرکونیوم لایه نشانی شده بر روی( Si(100 به روش کندوپاش یونی
Publish place: 16th Iranian Conference on Optics and Photonics (ICOP2010)
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,311
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICOPTICP16_104
تاریخ نمایه سازی: 18 تیر 1388
Abstract:
در این کار تحقیقاتی فیلمهای نازک نیترید زیرکونیوم (ZrN) به روش کندوپاش یونی با نسبت های مختلف گاز نیتروژن برروی زیرلایه (100)Si لایه نشانی شده اند. نمونه ها توسط طیف سنج پس پراکندگی رادرفورد (RBS) صخامت سنجی شده و بوسیله آنالیز XRD ساختار سنجی شده و در نهایت به کمک طیف سنج نوری میزان و نحوه بازتابش نوری لایه های مختلف مورد بررسی قرار گرفته است. سپس نمونه ها در مجاورت هیدروژن و دمای 800C بازپخت شده و تغییرات بوجود آمده درنمونه ها بررسی شده است. با توجه به نمودارها تشکیل فاز (111)ZrN مشهود است و بعد از عملیات حرارتی شاهد تشکیل ZrH, ZrO2 نیز هستیم که باعث تغییر ساختار نمونه ها شده است.
Keywords:
Authors
شهاب نوروزیان
مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران
مجید مجتهدزاده لاریجانی
پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی کرج
جهانبخش مشایخی
مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران، تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :