برهمکنش لیزر پالش کوتاه با هدف فلزی مس نانوساختار و افزایش گسیل اشعه ایکس برای استفاده در لیتوگرافی
Publish place: 09th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1387
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,221
This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ISSE09_109
Index date: 25 October 2009
برهمکنش لیزر پالش کوتاه با هدف فلزی مس نانوساختار و افزایش گسیل اشعه ایکس برای استفاده در لیتوگرافی abstract
اشعه ایکس پالسی از پلاسمای تولید شده در بر هم کنش پالسهای لیزری با فلزات گسیل میشود یکی از کاربردهای مهم این نوع اشعه ایکس استفاده از لیتو گرافی میباشد دراین مقاله افزایش میزان تابش اشعه ایکس ترمزی با بکار گیری یک هدف مسی با سطح نانو ساختار در محدوده های طول موجی 1-20 nm که برای لیتو گرافی مناسب است بررسی شده است محاسبات برای پالش لیزری کوتاه در محدوده 50 ps انجام شده است سطح نانو ساختار هدف مسی به صورت یک لایه نازک با چگالی جرمی متغیر شبیه سازی شده است که در واقع کنترل میزان تخلخل سطح نانو ساختار را امکان پذیر میسازد نتایج برای شدت لیزری 1014 W/cm2 نشان میدهند که با کاهش چگالی لایه نانو ساختار میزان تولید اشعه ایکس در محدوده طول موجی مذکور افزایش قابل ملاحظه ای خواهد داشت با کاهش نسبت چگالی لایه نانویی ب هزیر لایه تا نسبت ½ تاثیر چندانی در انرژی کل تابش ایجاد نمیگردد ولی با کاهش بیشتر نسبت به 6/ 1افزایش قابل توجهی در میزان تشعشع بوجود میاید.
برهمکنش لیزر پالش کوتاه با هدف فلزی مس نانوساختار و افزایش گسیل اشعه ایکس برای استفاده در لیتوگرافی authors
رضا فاضلی
دانشجوی دکتری، دانشکده فیزیک، دانشگاه علم و صنعت ایران
محمدحسین مهدیه
دانشیار، دانشکده فیزیک، دانشگاه علم و صنعت ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :