تخمین و پیش بینی خزش و حلقه های هیسترزیس ناخواسته در فرآیند ساخت نانوسازه ها

این مقاله قسمت اول کار بسیار ارزشمندی است که نهایتاً به مدلی جدید جهت جبرانسازی اثرات غیرخطی در دستگاه ساخت قطعات نانو منجر می شود. در این قسمت، یک رهیافت جدید برای مدلسازی اثرات غیرخطی خزش و هیسترزیس در اسکنرهای پیزوتیوبی ارائه می کند که در فرآیند ساخت نانوسازه ها با SPM بسیار حائز اهمیت هستند. ابتدا به توصیف کلی خزش و هیسترزیس پرداخته شده و سپس با تعریف پارامتر انعطاف پذیری، مدل DSM کامل مورد توجه قرار گرفته و مدل باک- ون به عنوان مدل توصیف کننده حلقه های هیسترزیس اصلاح شده است. در پایان تطابق خوب نتایج تئوری و تجربی نشان داده شده است.

Keywords:

خزش , هیسترزیس , انعطاف پذیری , میکروسکوپ پروبی روبشی , نانوسازه