سیویلیکا را در شبکه های اجتماعی دنبال نمایید.

شبیه‌سازی فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه در حین لایه‌نشانی

Publish Year: 1387
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,137

This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download

Export:

Link to this Paper:

Document National Code:

IPC87_094

Index date: 15 December 2009

شبیه‌سازی فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه در حین لایه‌نشانی abstract

در این مقاله فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه حین لایه نشانی شبیه سازی و با نتایج تجربی مقایسه گردیده است. به این منظور مدل آرنولد- عزیز تعمیم داده شد و بر اساس آن شبیه سازی انجام گرفت. بر اساس نتایج شبیه سازی نحوه بستگی پدیده جدانشینی سطحی حین لایه نشانی به پارامترهای مختلف شامل نرخ لایهنشانی، سد پتانسیل، دما و ضخامت لایه نشانده شده بررسی گردید. غلظت عناصر سطح در مقیاس نانومتری به صورت تجربی با طیف نگاری فوتوالکترون اشعه XPS) X)، طیفنگاری الکترون اوژه (AES)و اندازهگیری زاویه تماسی قابل ارزیابی است. مقایسه نتایج بدست آمده شبیه سازی و نتایج تجربی صحت نتایج شبیه سازی را تأیید می نماید.

شبیه‌سازی فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه در حین لایه‌نشانی authors

رضا رسولی

دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف

محمدمهدی احدیان

پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگاه صنعتی شریف

اعظم ایرجی زاد

دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف-پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگ

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
رسولی، رضا ؛ احدیان، محمد مهدی _ ایرجی‌زاد، اعظم؛ «بررسی ... [مقاله کنفرانسی]
S. Valencia et. al. ; "Surface degradation of magnetic properties ...
M Venkatesan e. al. ; "Magnetic; _ etotranspo rt, and ...
F. Capasso; "Band-Gap Engineering: From Physics and Materials to _ ...
H. C. Liu and F Capasso; "Intersubband Transitions in Quantum ...
L. Oberbeck, N. J. Curson, M. Y. Simmons, R. Brenner, ...
I. Zutic, J. Fabian, and S. DasSarma; "Spintronics: Fundamentas and ...
Li-Ping Zhu et. al. ; "Improved _ ro tein-adsorption resistance ...
M. M. Ahadiana and A. Iraji zad; _ Structure and ...
A. Meunier, B. Gilles, M. Verider; "Interdifftusion and magnetism in ...
B.Arnold and J.Aziz; "Unified kinetic model of dopant segregation during ...
S. Tougaard; "Quantitative x-ray photoelectron spectroscopy: Simple algorithm to determine ...
نمایش کامل مراجع

مقاله فارسی "شبیه‌سازی فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه در حین لایه‌نشانی" توسط رضا رسولی، دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف؛ محمدمهدی احدیان، پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگاه صنعتی شریف؛ اعظم ایرجی زاد، دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف-پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگ نوشته شده و در سال 1387 پس از تایید کمیته علمی کنفرانس فیزیک ایران 1387 پذیرفته شده است. کلمات کلیدی استفاده شده در این مقاله هستند. این مقاله در تاریخ 24 آذر 1388 توسط سیویلیکا نمایه سازی و منتشر شده است و تاکنون 1137 بار صفحه این مقاله مشاهده شده است. در چکیده این مقاله اشاره شده است که در این مقاله فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه حین لایه نشانی شبیه سازی و با نتایج تجربی مقایسه گردیده است. به این منظور مدل آرنولد- عزیز تعمیم داده شد و بر اساس آن شبیه سازی انجام گرفت. بر اساس نتایج شبیه سازی نحوه بستگی پدیده جدانشینی سطحی حین لایه نشانی به پارامترهای مختلف شامل نرخ لایهنشانی، سد پتانسیل، دما ... . برای دانلود فایل کامل مقاله شبیه‌سازی فرآیند جدانشینی سطحی مواد از زیرلایه در حین لایه‌نشانی با 5 صفحه به فرمت PDF، میتوانید از طریق بخش "دانلود فایل کامل" اقدام نمایید.