آنالیس مودال تیرک میکروسکوپ نیروی اتمی با استفاده از روش المان محدود در خلاء

در این مطالعه ابتدا یک میکروتیر میکروسکوپ نیروی اتمی از شرکت میکرومش تهیه شده است. سپس با استفاده ازمیکروسکوپ الکترونی روبشی تا مقیاس 5 میکرومتر از تیرک در زوایای مختلف تصویر برداری شد تا مقادیر نسبتا دقیق ابعاد هندسی بدست آید. طبیعی است که به علت عدم امکان نگارش صرف یک عدد برای یک هندسه در مقیاس مورد نظر، در عمل بازه ای برای ابعاد بدست آمد که با میانگین اندازه های بدست آمده در نرم افزار سالیدورکس مدل سه بعدی میکروتیر طراحی گردید.در گام بعدی با بهره گیری از نرم افزار حل عددی انسیس و به کمک روش المان محدود، با فرض شرایط ایده آل خلاء با استفاده از حلگرآنالیز مودال، فرکانس های رزونانسی و مودشیپ های میکروتیر بررسی شده است.درآخرفرکانس رزونانسی مود اول با دادهی شرکت سازنده صحه گذاری گردید.