اثر دز کاشت هیدروژن بر روی خواص ساختاری و نیز الکتریکی تک کریستالهای سیلیکونی
Publish place: Iranian Physics Conference 1388
Publish Year: 1388
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,140
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
IPC88_396
Index date: 18 January 2010
اثر دز کاشت هیدروژن بر روی خواص ساختاری و نیز الکتریکی تک کریستالهای سیلیکونی abstract
در این تحقیق ، اثرکاشت یون هیدروژن با انرژی 70keV بر خواص میکرو-نانوساختاری(400) p-Si بررسی شده است. برای این امر آنالیزهای پراش اشعه X (XRD)، میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) به منظور مطالعه بر روی ساختارنمونه های آسیب دیده در اثر کاشت انجام شدند. مقاومت الکتریکی صفحه ای نمونه های کاشته شده نیز توسط دستگاه چهار پروبی نقطه ای، اندازه گیری و مورد مطالعه قرار گرفتند. برطبق نتایج XRD، پهنای نصف ارتفاع پیک(400) Si با دزهای مختلف،تغییر کرد، که این تغییرات به تنش و کرنش ایجاد شده بدلیل کاشت، مربوط بود. نتایج AFM تشکیل تاول ها و ترک های حاصل از شکافت آنهارا بواسطه تغییرات دز کاشت نمایش داد. همچنین رابطه تنگی را بین زبری حاصل از کاشت و دز بکار رفته نشان داد. نتایج آزمایش چهار پروبی نیزمؤید همان نتایج آنالیز AFM بوده است.
اثر دز کاشت هیدروژن بر روی خواص ساختاری و نیز الکتریکی تک کریستالهای سیلیکونی authors
مجید مجتهدزاده لاریجانی
مرکز تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی، سازمان انرژی اتمی، کرج
زهرا پیراسته
مرکز تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی، سازمان انرژی اتمی، کرج; گروه فیزی
محمدرضا خانلری
گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه بین المللی امام خمینی قزوین
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :