آنالیز طراحی و توصیف مشخصه ها و تستهای ویژه ی یک ترانسدیوسر خازنی MEMS اولتراسونیکی، در خصوص آشکارسازی عیوب در سازه های صنعتی

Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,536

This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

NEEC02_031

تاریخ نمایه سازی: 7 بهمن 1388

Abstract:

سیستمهای میکروالکترومیکانیکی (MEMS) بعنوان یکی از امید بخش ترین فناوریها در هزاره سوم لحاظ می شود. امروزه، کاهش حجم و وزن ترانسدیوسرها هدف اصلی بسیاری از صنایع، دانشگاههای تحقیقاتی و شرکتها می باشد. پیشرفتهای اصلی سیستمها و ابزارهای اولتراسونیکی در دهه های اخیر، جایگاه های ویژه ای پیدا کرده اندودلیل خوبی برای آنالیزور بررسی آنها بمثابه یک فناوری مدرن و تطبیق پذیر وجود دارد. روشهای اولتراسونیکی می توانند در پایش ومونیتورینک انتشار ترک (Crack)، عیب، شکست جوش، خرابی قطعات و ... در مکانهای بحرانی، سازه ها و فرآیندهای صنعتی و ... مورد استفاده قرار گیرند. مع الوصف به علت محدودیت های عارضی در بازررسی اولتراسونیکی، یک تکنولوژی ترجیحی، می تواند بهره گیری از ترانسدیوسرهای خازنی MEMS اوتراسونیکی از نوع دیافراگمی باشد. و آشکار سازی عیوب به روش اولتراسونیکی می پردازد. تراشه مورد نظر دارای 23 سنسور ( به صورت آرایه ای) که هر یک دارای 180 دیافراگم سیلیکونی با یک قطر 85 میکرونی و فرکانس طبیعی بارگذاری نشده نردیک به 3.5MHz می باشد. این مقاله همچنین گزارشی شامل اندازه گیریهای ظرفیت خازنی- ولتاژ مشخصه های (C-V) وادمیتانس ارایه می دهد. سپس آزمایشهای اصلی و اولیه انجام شده بمنظور تحریک ترانسدیوسرهای پیزوالکتریک (PZT) رایج و فرآیندهای آشکار سازی موفقیت آمیز سیگنالهای فراصوتی در خصوص کاربردهای بالقوه آنها ( از جمله اندازه گیری ضخامت اجسام ذیربط) را مورد تدفیق و آنالیز قرار می دهد.

Keywords:

آشکار سازی پالس- اکو , اندازه گیری ضخامت , اولتراسونیک , ترانسدیوسرخازنی , سیستمهای میکروالکترو میکانیکی (MEMS) , عنصر PZT

Authors

جهانگیر باقری

دانشکده مهندسی کنترل- دانشگاه برادفورد

امیر حسین پورجم

دانشکده فنی و مهندسی- دانشگاه آزاد اسلامی واحد خمینی شهر

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • جهانگیر باقری، " "Ultrasonic Flow Measurement Using ، Two Asymmetric ...
  • ارزیابی نموده و آزمایشات مرتبط با رفتار دیافراگم را هدایت ...
  • I.Ladabaum, X.Jin, H.Soh, A.Atalar, and B.Khur. Yakub, :Surface mi cromachined ...
  • X.Jin, Ladabaum, F.Degertkin, S.Calmes, and B .Khuri-Yakub, "Fabrication and charac ...
  • S.Hansen, B.Mossawir, A.Ergun, F.Degertkin, and ...
  • O.Oralkan, X.Jin, K.Kaviani, A.Ergun, F.Degertkin, pulse-echo Initialء M.Karaman, and B ...
  • X.Jin, H.Soh, O.Oralkan, F.Degertekin, and B _ Khuri-Yakub, _، Characteriz ...
  • capacitive transducers, " Ultrasonic s, Vol. 35, 179-181, 1995 D.Hutchins, ...
  • _ 0Micromac hined transducers for ultrasound applications, " IEEE Ultrasonics ...
  • نمایش کامل مراجع