تحلیل رفتار استاتیکی میکرو تیر میکرو الکترو مکانیکی با معرفی حسگر سرعت زاویه ای برای کاربردهای قطع اضطراری
Publish place: Second International Congress of Science and Engineering
Publish Year: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 471
This Paper With 12 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
GERMANCONF02_254
تاریخ نمایه سازی: 3 تیر 1398
Abstract:
در این تحقیق طراحی و معرفی یک میکرو حسگر سرعت زاویه ای و بررسی رفتار استاتیکی آن مورد بررسی قرار می گیرد که در آن میکرو تیر دو سر گیر دار، در معرض تحریک نیروی الکترواستاتیک و گریز از مرکز میباشد. معادلات حرکت حاکم بر این مسئله بر اساس فرض تیر اویلر برنولی به دست می آید. برای حل استاتیکی این معادلات با استفاده از روش خطی سازی گام به گام حل می شود، سپس با استفاده از روش کاهش مرتبه گلرکین این معادلات خطی شده حل می گردند. به علاوه، ولتاژ ناپایدار استاتیکی برای سرعتهای زاویه ای مختلف و سرعت زاویه ای ناپایدار به ازای ولتاژهای بایاس مختلف محاسبه می شود. با تعریف تغییر ظرفیت خازن به عنوان پارامتر حساسیت حسگر اثر تغییرات هندسی بر عملکرد ان بررسی می شود.
Keywords:
Authors
هادی عظیم لو
دانشجوی دکترای مهندسی مکانیک طراحی کاربردی، دانشگاه ارومیه ، ارومیه
قادر رضازاده
استاد گروه مهندسی مکانیک، دانشکده فنی و مهندسی دانشگاه ارومیه، ارومیه
مهرداد شیخلو
استادیارگروه علوم مهندسی، دانشکده فناوری های نوین، دانشگاه محقق اردبیلی، نمین
رسول شعبانی
استادیار گروه علوم مهندسی، دانشکده فناوری های نوین، دانشگاه فناوری های نوین سبلان، نمین